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精密设备车间净化工程中的机械和工艺服务密度可能会导致拥挤的技术空间。因此,必须将灵活性整合到净化车间的整体设计中,以便适应净化车间的扩展和改造以及新设备和工具的集成。与此要求相辅相成的是,需要快速更换设备以限度地减少停机时间,降低成本并限度地减少任何污染机会,从而提高生产率。如果净化车间的设计考虑了可扩展性和灵活性,那么未来变化的成本将会降低。
精密设备车间净化工程隔离墙
精密设备车间净化工程设施墙内可用于容纳机械管道系统、电力设施、过程工作和其他公用设施。由于在墙内运行的服务量,墙壁的厚度可以从6英寸到12英寸到18英寸不等。
精密设备车间净化工程舱壁
由于设备不断地移入和移出净化车间,特别是在微电子工业中,因此用户能够从隔离开口处的任何位置的隔离区中穿过隔离墙是非常重要的。这些隔板可以使用在设备周围“包装”的部件来创建,并且挤出的垫圈可以与墙壁周围连接以密封设备。
精密设备车间净化工程无缝墙
功能性是另一个重要特征,特别是使用垂直板条连接墙板或使用无缝型墙壁系统。无缝型墙壁系统可以提供净化车间平滑的外观。虽然这个功能在美学上很吸引人,但功能并不总是实用的。无缝型墙在精密设备车间净化工程应用中更为关键,以消除净化车间中可以让有机污染物生长的裂缝,而且其中板条仅从墙壁突出1/16英寸,也可以保持净化车间的美观。
精密设备车间净化工程板条墙
大多数半导体设施不仅会在净化车间建设完成之后安装,甚至在安装期间都经历了修改。通常情况下,设备可能直到项目后期才到达工作现场,或者可能需要根据流程的变化更改布局。在任何一种情况下,板条墙系统都为现场修改提供了更大的灵活性和一致的外观。
精密设备车间净化工程支柱
墙壁支撑和悬挂管道机架的能力是净化工程中支柱的另一个重要特征,用于清理净化车间的地板空间。这可以通过将支柱连接到垂直螺柱并悬挂线来实现,而其他螺柱具有内置的“支柱腔”,这完全不需要单独的支柱框架。